廖云新人物专访｜母机筑芯，久久为功 ——对话浙江晶盛机电股份董事长曹建伟博士
2026当代人物网年度人物评选（第七届）年度制造人物候选人：浙江晶盛机电股份有限公司董事长曹建伟博士
年度人物，一生荣耀！
礼赞不凡，致敬榜样！
当代人物网年度人物评选，人民日报新闻客户端三次重磅宣传推介！
致敬每一位勇毅向前的奋斗者。让名字与星光同辉，让故事与岁月共长。
撰文｜廖云新
编辑｜滕 斌
10月23日下午，秋雨绵绵，淅沥的雨丝给杭城平添一份沉静。在浙江晶盛机电股份（总部位于绍兴）全资控股的浙江求是半导体设备有限公司（位于杭州龙船坞路）一间装修考究的会客室内，当代人物网专访了浙江晶盛机电股份有限公司曹建伟博士。作为国内半导体装备领域的领军者，浙江晶盛机电股份有限公司党委书记、董事长曹建伟，一身简约正装，谈吐温和而笃定。从浙大博士到创业带头人，从首台全自动单晶炉问世，到8-12英寸硅片成套设备、碳化硅装备实现国产突破，二十载深耕，他始终扎根半导体装备赛道，带领团队啃下一块又一块“硬骨头”，为我国半导体材料装备自主可控筑牢根基。
业内人习惯称呼他“曹博”。1978年出生的曹建伟，是浙江大学工学博士、正高级工程师，国家“万人计划”科技创新创业人才、浙江省五一劳动奖章获得者、风云浙商、创新浙商，一身光环之下，他身上始终保留着工科研究者的质朴：敬畏技术、尊重规律，不急着追逐短期热度，愿意沉下心和一台台设备、一次次试验长久相伴。
谈及创业初心，曹建伟的思绪回到2006年。彼时国内半导体长晶装备几乎全部依赖海外进口，设备价格高昂、交付周期漫长，核心技术牢牢掌握在外企手中，行业处处受制。还在浙大攻读博士的曹建伟，和导师、一批志同道合的师生一起，怀揣“半导体高端装备国产化”的朴素梦想，在绍兴上虞一间三层小厂房里起步创业。“当时条件很简陋，厂房不大，资金紧张，很多人不相信我们一群博士能做成装备。”曹建伟笑着回忆，团队的目标很明确：攻克全自动单晶硅生长炉，打破国外垄断。他牵头负责最核心的控制系统软件研发，这正是单晶炉从半自动迈向全自动的关键瓶颈。
浙江晶盛机电股份全资控股的浙江求是半导体设备有限公司
晶体生长是一个漫长又精密的过程，一炉晶体生长动辄四五天，参数波动一丝一毫，就可能整炉报废。那段日子，曹建伟和研发人员长期驻守车间，吃住都在现场，昼夜轮班盯控拉晶过程。测试一次就要一两周，单是一次试验成本就远超早期订单金额，失败是常态。无数次调试、推翻、重来，半年之后，国内首台自主研发的全自动80A型单晶硅生长炉顺利下线。这台设备的诞生，填补了国内空白，也为晶盛机电的发展埋下第一颗种子。
创业路上从不是一路坦途。曹建伟说起早年两个印象深刻的订单。2008年南方雪灾，交通大面积瘫痪，多家同行放弃奔赴竞标现场，只有晶盛机电团队克服风雪准时到场，凭借技术方案和诚意拿下过亿大单；同年汶川地震发生时，他和同事正在四川参与项目竞标，地震发生后没有仓促撤离，一边配合客户抢险，一边推进技术对接，最终顺利签下订单。“那个年代，客户愿意给国产装备机会本身就不容易，我们不能辜负这份信任。”曹建伟感慨，国产装备想要立足，既要过硬技术，更要一份靠谱的坚守。靠着扎实的产品和服务，晶盛机电逐步站稳光伏硅装备赛道，再顺势向半导体核心装备延伸。
在很多企业享受光伏赛道红利的时候，曹建伟做出一个关键判断：光伏装备是起点，半导体装备和材料才是长期赛道。他带领团队定下战略，沿着硅、蓝宝石、碳化硅三条主线，布局晶体生长、切片、抛光、外延、CVD等全链条设备，向着8至12英寸大硅片加工设备发起攻坚。大硅片是集成电路产业的基石，对应的长晶、加工设备技术壁垒极高，长期被海外巨头垄断。研发过程中，材料配方、热场设计、精密传动、控制算法、洁净工艺，每一个环节都是难关。
“半导体装备没有捷径，它是材料、机械、热工、光学、软件、真空等多学科交叉的系统工程，任何一个短板都会导致整机失效。”曹建伟告诉笔者，他们的策略不是单点模仿，而是搭建完整研发体系，打造自主可控的供应链，同步培养本土人才梯队。公司逐步组建起千人规模的研发团队，持续保持高强度研发投入，一步步实现8-12英寸硅片长晶、切片、抛光、CVD设备批量国产替代，走进国内主流硅片工厂，打破海外设备长期垄断格局。
曹建伟演讲
功率半导体浪潮到来，曹建伟又把目光投向第三代半导体碳化硅赛道。碳化硅是新能源汽车、光伏逆变器、高压电网的核心材料，被誉为下一代半导体材料。但是碳化硅晶体硬度高、生长难度大，长晶设备长期依赖进口。曹建伟带领团队从零起步，自主开发碳化硅长晶炉、切片、抛光、外延全套装备，同步向下游延伸布局碳化硅衬底材料业务。如今，晶盛机电碳化硅衬底已经向国内外多家功率芯片头部企业稳定批量供货，产能持续爬坡；与此同时，团队还完成8英寸金刚石晶圆关键技术攻关，在前沿宽禁带半导体材料领域抢先布局，打开新的产业空间。
从装备制造延伸到半导体衬底材料，晶盛机电形成“先进装备+先进材料”双轮驱动模式。曹建伟解释这个战略时说：“装备和材料是共生关系。做装备，我们懂材料工艺痛点；做材料，反过来倒逼装备迭代升级。两者互相验证，才能形成真正的技术护城河。只做设备，很难吃透底层工艺；只做材料，容易被上游设备卡脖子。”这种一体化布局思路，也是他基于国内半导体产业短板做出的长远安排。
面对行业周期起伏，曹建伟有着清醒认知。光伏行业周期性波动，半导体赛道投入大、回报周期长，市场上不乏浮躁心态，有人追逐短期风口，期待快速变现。曹建伟认为，半导体产业是“长跑产业”，需要长期主义，不能急于求成。“做半导体装备，要耐得住寂寞，允许试错，但不能停止迭代。我们不和别人比短期增速，而是持续夯实底层技术、零部件配套、工艺数据库。国产化不是简单‘造出来’，而是要稳定、可靠、持续迭代，让客户敢用、好用、愿意长期用。”
公司研发团队
人才，是曹建伟反复提及的关键词。在他看来，高端装备的竞争本质是人才竞争。半导体领域复合型人才稀缺，单纯依靠外部挖人远远不够。晶盛机电一方面引进海内外优秀工程师、材料专家，搭建开放的研发平台；另一方面坚持内部培养，鼓励工程师扎根一线，在设备安装、调试、客户现场解决问题中积累经验。“好的装备工程师，不能只坐在办公室画图，要多去产线，多观察晶体生长，多和工艺工程师交流。工艺藏在现场里。”曹建伟自己也保持着深入一线的习惯，只要有空，就会走进研发车间、测试厂房，和研发人员讨论参数、研判问题。
谈及产业链安全，曹建伟态度审慎客观。他认为国产化替代不是闭门造车，自主可控和开放合作并不矛盾。“我们要构建自主安全的供应链体系，攻克核心零部件短板；同时也要积极和全球产业链协同交流，吸收先进理念。自主可控的目标，是拥有选择权，不是拒绝合作。国内半导体产业起步晚，短板还很多，需要上下游企业抱团协同，设备厂、材料厂、晶圆厂联合验证，形成良性循环，单一企业很难独善其身。”
作为浙商，曹建伟理解新时代浙商精神的内核就是创新与担当。扎根浙江，这片民营经济沃土给了企业成长养分，也赋予企业家责任。如今晶盛机电员工规模超8000人，研发人员上千人，在多地布局研发制造基地，持续带动上下游配套企业成长，助力浙江打造半导体新材料装备产业集群。与此同时，企业积极投身绿色低碳赛道，依托硅基、碳化硅技术支撑新能源产业发展，以半导体技术助力碳中和目标落地。
采访尾声，雨还在下。我们聊到年轻一代科创者，曹建伟寄语青年科研人：“科创路上，热情很珍贵，但更需要敬畏之心。不要轻视基础研究，不要害怕失败。半导体装备每一点微小进步，都建立在无数次试验之上。认准方向，久久为功，时间会给出答案。”
二十载磨一剑，从一间小厂房里的博士创业团队，成长为国内半导体材料装备龙头，曹建伟始终坚守初心：打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业。前路漫漫，先进制程装备、前沿化合物半导体材料还有无数难关等待突破。曹建伟和他的团队，依然走在“铸芯”路上，在一场场秋雨、一个个日夜的攻关之中，稳步向着半导体产业自主自强的远方前行。